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高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀的準(zhǔn)備工作

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　　高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀是一種用于在高真空環(huán)境下通過加熱蒸發(fā)固態(tài)碳源，使其沉積到工件表面形成均勻、致密碳膜的設(shè)備。其操作步驟涉及多個(gè)環(huán)節(jié)，包括設(shè)備準(zhǔn)備、蒸發(fā)過程控制以及后續(xù)處理等。以下是詳細(xì)的操作步驟：　　1.準(zhǔn)備工作　　環(huán)境準(zhǔn)備：進(jìn)入房間前換拖鞋，穿上防塵服。打開房間總電源，照明和插座的電源，并開啟排氣扇。同時(shí)，打開鍍膜間后面的電源和水源。　　基板整理：整理好基板，以減少真空室在大氣壓狀態(tài)下的時(shí)間，有利于機(jī)械泵和分子泵抽真空。　　設(shè)備檢查：打開鍍膜機(jī)的電源，檢查真空檢測(cè)顯示是否正常，觀察是高真空還是低真空狀態(tài)。　　2.安裝與調(diào)整蒸發(fā)源　　選擇蒸發(fā)頭：根據(jù)蒸鍍材料的不同，選擇合適的蒸發(fā)頭（金屬蒸盒或碳棒蒸發(fā)頭）。使用碳棒蒸發(fā)頭時(shí)，需將一個(gè)電極線連接至儀器后面的黑色孔，另一個(gè)電極線連接至紅色孔。　　安裝碳棒，安裝蒸發(fā)頭：將碳蒸發(fā)頭裝在儀器上蓋上，插好電線，打開氮?dú)怃撈康拈_關(guān)，流量控制在0.035Mpa左右。　　3.放置樣品　　將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。對(duì)于金屬蒸鍍，還需將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團(tuán)成球形放入鎢籃中。　　4.抽真空　　開放氣閥，直到真空室門自動(dòng)打開。關(guān)閉放氣閥，以免遺忘。　　將蒸發(fā)源安裝在電極上，取出襯底托，將襯底安放在襯底托上，當(dāng)好擋板。　　檢驗(yàn)石英振蕩器是否正常，觀察膜厚儀表上對(duì)應(yīng)的綠色指示燈是否亮著。　　把調(diào)壓器界面的旋鈕由停旋至蒸發(fā)1檔，調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流，看電流表的示數(shù)是否顯示正常。　　將旋鈕調(diào)至機(jī)械泵—分子泵檔，打開熱偶規(guī)至V2測(cè)量檔，開啟機(jī)械泵，拉出低閥，間隔2分鐘左右推進(jìn)低閥，如此反復(fù)兩三次，待熱偶規(guī)表示數(shù)達(dá)到10Pa時(shí)，推進(jìn)低閥，打開高閥，打開分子泵電源，開啟分子泵。　　http://www.gevee-tech.com.cn/product/234.html

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