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MEMS光柵控制驅(qū)動中的典型應(yīng)用

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西安安泰電子科技有限公司（Aigtek）是國內(nèi)專業(yè)從事測量儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。公司致力于功率放大器、計量校準產(chǎn)品、線束測試儀等產(chǎn)品為核心的相關(guān)行業(yè)測試解決方案的研究，為用戶提供具有競爭力的測試方案，Aigtek 已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線，且具有相當(dāng)規(guī)模的儀器設(shè)備供應(yīng)商。

高壓放大器——MEMS光柵控制驅(qū)動中的典型應(yīng)用關(guān)鍵索引詞： MEMS 微機電系統(tǒng) 高壓放大器 MEMS傳感器 MEMS 光學(xué)掃描儀微機械陀螺儀 1.png MEMS光柵控制驅(qū)動中的典型應(yīng)用MEMS簡介：微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。 MEMS側(cè)重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。 MEMS是一個獨立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。 3.png MEMS光柵應(yīng)用測試： MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用。基于其獨特的優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅(qū)動方式，而靜電驅(qū)動的 MEMS光柵，由于其工藝易于實現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高，因此是最常用的驅(qū)動方式。著名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix）都是采用靜電驅(qū)動的。靜電驅(qū)動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅(qū)動的能量密度較小，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作位移（微米級），就必須增大驅(qū)動電壓，驅(qū)動電壓甚至達到上百伏。當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用，由于機械結(jié)構(gòu)特有的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩，增大系統(tǒng)延遲。實際工作時，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導(dǎo)致驅(qū)動電路容性負載的變化。這些都為設(shè)計驅(qū)動電路帶來困難。因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于高壓放大器的性能。 MEMS光柵控制驅(qū)動中的典型應(yīng)用MEMS測試功率放大器：西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關(guān)應(yīng)用的動態(tài)驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。 ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設(shè)計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對應(yīng)的匹配阻抗。 2.png

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