檢測認證人脈交流通訊錄
- 產品用途(1)高純三氯化硼主要用于(硅)半導體器件制造工藝中的擴散摻雜(在高溫下,經過分解生成硼雜質向硅中擴散,形成P型半導體)、離子注入(作為離子注入源,高能量作用下使硼原子離子化,產生硼離子束并注入硅形成P型淺結)、干法蝕刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過程;(2)可作為許多有機反應中的優良催化劑(如苯乙烯聚合反應中建議使用,可提高產量及效率)及醫藥工業的中間體;(3) 用于制備有機硼化合物的基礎材料:乙硼烷;硼酸酯等;用于制備無機硼化合物材料:硼纖維、BN纖維先驅體、BN坩鍋等;用于制備硼化物粉末:高純硼粉(無定型及結晶型)、BN、BC4、TiB2超細粉;用于CVD涂層及鍍膜工藝:涂覆B、BC4、BN、TiB2等保護涂層及膜;用作光導纖維的基礎材料;此外還可用于制造太陽能電池元件等工藝過程中;環氧樹脂固化劑;碳纖維石墨化的滲硼工藝。(4)還可用于金屬冶煉如鋁、鎂、鋅、銅合金的提純過程(可脫除熔融金屬中的氮化物、碳化物和氧化物。用三氯化硼氣體處理熔化的鋁,可使鋁鑄件的性能得到改善。)(5)用作鋁、鐵、鋅、錳、鎢、蒙乃爾等合金的焊劑。(6)用于撲滅熱處理爐中的Mg火。(7)高能燃料及火箭推進劑中,三氯化硼作為硼源以提高BTU值。
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