99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規格 CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv O2 Oxygen氧氣 <1.0ppmv ">
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檢測認證人脈交流通訊錄
氯氣
- 用 途：
- 半導體生產中等離子刻蝕鋁和其它金屬層。氯化多種有機化學品。
- Chlorine 氯氣(Cl2)
Total Purity純度：>99.999%
Vapor Phase Impurities
氣相雜質
Contaminants
雜質 Specifications (ppmv)
規格
CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv
CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv
CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv
N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv
O2 Oxygen氧氣 <1.0ppmv
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