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晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀

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    •   晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀設(shè)備特點(diǎn):   臺(tái)階高度:幾納米至1000um  微力恒力控制:0.03mg至50mg   樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接   視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)   圓弧矯正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差   生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序,模式識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化   主要應(yīng)用:  薄膜/厚膜臺(tái)階   刻蝕深度測(cè)量  光阻/光刻膠臺(tái)階   柔性薄膜  表面粗糙度/波紋度表征   表面曲率和輪廓分析  薄膜的2DStress量測(cè)   表面結(jié)構(gòu)分析  表面3D輪廓成像   缺陷表征和分析  其他多種表面分析功能   三、應(yīng)用案例   臺(tái)階高度  P-7可以提供納米級(jí)到1000μm的2D和3D臺(tái)階高度的測(cè)量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-7具有恒力控制功能,無(wú)論臺(tái)階高度如何都可以動(dòng)態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測(cè)量穩(wěn)定性并且能夠測(cè)量諸如光刻膠的軟性材料。   晶圓探針式輪廓儀產(chǎn)品來(lái)源:   http://www.natengyiqi.com/Products-36785623.html   https://www.chem17.com/st125795/product_36785623.html

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