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日本富士FUJI單成分濃度計

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日本富士FUJI單成分濃度計（機(jī)）的產(chǎn)品簡介：維護(hù)性和高精度內(nèi)線測量等的FUD-1Model-13的好處就那樣，成為作為半導(dǎo)體制造工藝用小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。 FUD-1Model-53／FUD-1Model-63※以下是構(gòu)成的一例。単成分濃度計（専用）單成分濃度計的特點：實時濃度測量可能，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡單模擬DC4～20mA及數(shù)字RS232C標(biāo)準(zhǔn)裝備標(biāo)準(zhǔn)配備測量錯誤輸出和警報輸出標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯誤信息表示小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計對藥液沒有影響優(yōu)點：高精度連續(xù)計測可能無需定期調(diào)整、校對，無需維護(hù) 設(shè)置時的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置由于實時輸出的工程的反饋也容易日本富士FUJI單成分濃度計（機(jī)）的用途：在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）規(guī)格：形式FUD-1Model-13 測量參數(shù)超聲波傳播速度?溫度顯示：LCD(濃度、溫度、音速/各種參數(shù)) 輸出信號模擬DC4～20mA(可對濃度值自由設(shè)定) 數(shù)字RS232C(濃度、溫度、音速、錯誤代碼) 警報上限測量異常. 電源AC100V～240V50/60Hz(也可以使用DC24V) 構(gòu)造面板掛載型（根據(jù)DIN規(guī)格）?盤內(nèi)設(shè)置型（可選擇安裝在防雨箱中）環(huán)境溫度0～50℃RH85%以下（不結(jié)露） 0～100℃特別規(guī)格-10～160℃（100℃幅度）功能：輸出范圍設(shè)定、警報輸出設(shè)定、濃度顯示移動平均、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、全息安全功能、異常值取消 RS485輸出(不能與RS232C同時輸出) 選項溫度輸出（DC4～20mA）頻道大10ch 適配發(fā)信器Model-13：SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5 日本富士濃度計 http://www.shyilide02.cn/Products-32296924.html https://www.chem17.com/st392833/product_32296924.html

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